Diseño y construcción de un sistema de alto vacío estructuración de un evaporador para depositar películas delgadas
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Date
1976
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Abstract
El objetivo del presente trabajo ha sido la estructuración de un evaporador, junto con la explicación teórica de los fundamentos de alto vacío usados en procesos de evaporación, la explicación de los fundamentos de alto vacío es hecha partiendo del conocimiento de la teoría cinética de los gases ideales, que son aplicables con buenas aproximaciones a sistemas de alto vacío, como ha sido demostrado por gran número de investigadores, tales como John Strong, Frank Dushman etc.
Description
Keywords
Vacío, Evaporación, Películas delgadas, Técnicas de vacío